臺體規(guī)格

型號：CH-8/CH-12

樣品臺尺寸：8英寸/12英寸

水平旋轉(zhuǎn)：可360度旋轉(zhuǎn)，可微調(diào)15度，精度0.1度，帶角度鎖死裝置

X-Y移動行程：8英寸*8英寸/12英寸*12英寸

X-Y移動精度：10微米/1微米

樣品固定：真空吸附，中心吸附孔，多圈吸附環(huán)

針座平臺：U型針座平臺，**多可放置10個探針座

平臺升降：可快速升降6mm/可微調(diào)升降25mm

背電極測試：樣品臺電學獨立懸空，4mm插孔可接背電極

外形尺寸：840mm長*600mm寬*700mm高/950mm長*700mm寬*700mm高

重量：約100千克/150千克

光學系統(tǒng)

顯微鏡類型：單筒顯微鏡/體式顯微鏡/金相顯微鏡

放大倍率：16X-200X/20X-4000X

移動行程：X-Y軸行程2英寸*2英寸/水平360度旋轉(zhuǎn)，Z軸行程50.8mm

光源：外置LED環(huán)形光源/同軸光源

CCD：200萬像素/500萬像素/1200萬像素

定位器

X-Y-Z移動行程：12mm*12mm*12mm

移動精度：10微米/2微米/0.7微米/0.5微米

吸附方式：磁力吸附/真空吸附

線纜：同軸線/三軸線

漏電精度：10pA/100fA/10fA

固定探針：彈簧固定/管狀固定

接頭類型：BNC/三軸/香蕉頭/鱷魚夾/接線端子

針尖直徑：0.2微米/1微米/2微米/5微米/10微米/20微米

針尖材質(zhì)：鎢鋼/鈹銅

可選附件：加熱臺、顯示器、轉(zhuǎn)接頭、射頻測試配件、屏蔽箱、光學平臺、鍍金卡盤、光電測試配件、高壓測試配件、顯微鏡快速傾仰裝置、激光系統(tǒng)、探針卡夾具。