晶片規格：
2-8〞單、雙cassette

主要材料:
金屬骨架+PP/PVC/SUS304殼體，槽體材質PP/PVDF/PTFE/石英

工藝槽功能：
循環過濾+加熱

基礎工藝流程:
ACE→NMP→IPA→QDR

設備類型：
手動/半自動/全自動



Footprint : 1800 (W) x 1300 (D) x 2000(H) mm