紫外線殺菌消毒是利用適當波長的紫外線能夠破壞微生物機體細胞中的DNA（脫氧核糖核酸）或rRNA（核糖核酸）的分子結構，造成生長性細胞死亡和（或）再生性細胞死亡，達到殺菌消毒的效果。紫外線消毒技術是基于現代防疫學、醫學和光動力學的基礎上，利用特殊設計的高效率、高強度和長壽命的UVC波段紫外光照射流水，將水中各種細菌、病毒、寄生蟲、水藻以及其他病原體直接殺死。

臭氧可使用臭氧發生器制取，其生成原理臭氧可通過高壓放電、電暈放電、電化學、光化學、原子輻射等方法得到，原理是利用高壓電力或化學反應，使空氣中的部分氧氣分解后聚合為臭氧，是氧的同素異性轉變的一種過程。臭氧的分子式為O3.

臭氧消毒作為氯消毒的替代方法，在飲用水處理中被越來越多的應用。試驗表明，臭氧幾乎對所有的細菌、病毒、真菌及原蟲、卵囊都具有明顯的滅活效果。