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詳細(xì)介紹
工藝卡點(diǎn)特性
1.提高產(chǎn)品成品率：硅片裝夾牢固，減少掉片現(xiàn)象，減少氮化硅的色差片，提高了成品率。
2.工藝點(diǎn)鉤點(diǎn)小，新的圓形工藝點(diǎn)在硅片上的鉤點(diǎn)面積是1.472mm2，新的菱形工藝點(diǎn)鉤點(diǎn)面積是0.619mm2。
3.使用壽命長(zhǎng)。
4.采用SGL高純石墨，純度高、硬度高、耐磨、使用壽命長(zhǎng)。
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