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寶雞市鈦盛隆鈦業有限公司
主營:鈦板; 鈦棒; 鈦管; 鈦絲; 鈦帶; 鈦法蘭; 鈦標準件; 鈦靶材; 鈦設備; 鈦管件; 鈦鍛件; 
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寶雞鈦盛隆廠家供應鈦靶材

2022年08月06日舉報編輯打印
寶雞鈦盛隆廠家供應鈦靶材
價格: 面議
起批量: 1 件起批
區域: 陜西 寶雞 渭濱區
關鍵詞:
鈦靶材  鈦合金靶材  
聯系人: 李** 先生 (經理)
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詳細介紹
鈦靶,鈦濺射靶;應用于裝飾和功能 鍍膜工業、平面顯示工業、光數據存儲工業 (光盤工業)光通訊工業、玻璃鍍膜(建筑 玻璃和汽車玻璃)工業等行業.純度是靶材的主要性能指標之,因為靶材的純度對薄膜的性能影響很大。靶材的主要性能要求:純度純度是靶材的主要性能指標之,因為靶材的純度對薄膜的性能影響很
靶材的主要性能要求:

純度

純度是靶材的主要性能指標之一,因為靶材的純度對薄膜的性能影響很大。不過在實際應用中,對靶材的純度要求也不盡相同。例如,隨著微電子行業的迅速發展,硅片尺寸由6", 8"發展到12", 而布線寬度由0.5um減小到0.25um,0.18um甚至0.13um,以前99.995%的靶材純度可以滿足0.35umIC的工藝要求,而制備0.18um線條對靶材純度則要求99.999%甚至99.9999%。

雜質含量

靶材固體中的雜質和氣孔中的氧氣和水氣是沉積薄膜的主要污染源。不同用途的靶材對不同雜質含量的要求也不同。例如,半導體工業用的純鋁及鋁合金靶材,對堿金屬含量和放射性元素含量都有特殊要求。

密度

為了減少靶材固體中的氣孔,提高濺射薄膜的性能,通常要求靶材具有較高的密度。靶材的密度不僅影響濺射速率,還影響著薄膜的電學和光學性能。靶材密度越高,薄膜的性能越好。此外,提高靶材的密度和強度使靶材能更好地承受濺射過程中的熱應力。密度也是靶材的關鍵性能指標之一。

晶粒尺寸及晶粒尺寸分布

通常靶材為多晶結構,晶粒大小可由微米到毫米量級。對于同一種靶材,晶粒細小的靶的濺射速率比晶粒粗大的靶的濺射速率快;而晶粒尺寸相差較小(分布均勻)的靶濺射沉積的薄膜的厚度分布更均勻。
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