高純水設備(去離子水設備)是用純水機作為原水的基礎上，用陽離子樹脂罐+陰離子樹脂罐+陰離子和陽離子混合樹脂罐處理水（大型機組可以使用EDI—電滲析來制取）。它是目前用來制備高純水的手段之一。其出水電導率可1uS/cm以下，出水電阻率達到10MΩ.cm以上，根據不同的水質及使用要求，出水電阻率可控制在1-18MΩ.cm之間。被應用在電子、電力高純水，化工，電鍍高純水，鍋爐補給水及等工業高純水的制備上。