低溫等離子體工業廢氣處理成套設備和技術是在原電暈放電基礎上由高頻高壓電場通過尖端放電產生的新一代低溫等離子體技術具有能量高、電子發射密度高等特點，其凈化原理如下：
1、在放電過程中，電子從電場中獲得能量，通過非彈性碰撞將能量轉化為污染物分子的內能或動能，這些獲得能量的分子被激發或發生電離形成活性基團，當污染物分子獲得的能量大于其分子鍵能的結合能時，污染物分子的分子鍵斷裂，直接分解成單質原子或由單一原子構成得無害氣體分子。
2、等離子體中包含大量的高能電子、正負離子、激發態粒子和具有強氧化性的后型自由基，這些活性粒子和部分廢氣分子碰撞結合，同時產生的大量OH、HO、O等活性自由基和氧化性極強的O，能與有害氣體分子發生化學反應生成無害產物。